为了实现这些复杂的热处理效果，退火炉被设计为具有高度灵活性和可集成性，能够轻松融入半导体生产线的其他环节，如氧化过程。现代退火炉采用节能设计，结合纤维结构，实现了高达百分之六十的能效提升。

根据热源的不同，退火炉可分为多种类型，包括电热、燃煤、燃油、天然气及燃气退火炉。其中，自备燃气发生炉产生的燃气退火炉因其广泛的应用而备受关注。这类退火窑通常省去了传统的燃烧室，直接利用气体燃烧器在加热室内进行燃烧，有效提高了加热效率。同时，为了进一步降低能耗，许多气体退火窑还配备了热交换系统，将空气预热后用于燃烧，从而减少了能源消耗。